Từ ngày 24 đến ngày 27/03/2026, Trường Đại học Khoa học và Công nghệ Hà Nội (USTH – Việt Pháp) phối hợp với Viện Hàn lâm KH&CN Việt Nam đã tổ chức chuyến tham quan và đào tạo thực tế tại cơ sở Hyesungtech Hà Nội. Một đơn vị chuyên cung cấp và ứng dụng các giải pháp bơm chân không trong công nghiệp công nghệ cao.
Ông Nguyễn Đức Thiện – Tổng Giám đốc Công ty Hyesungtech đã đích thân tiếp đón đoàn giảng viên và sinh viên USTH cùng Viện Hàn lâm KH&CN Việt Nam, đồng thời trực tiếp tham gia giảng dạy và chia sẻ kiến thức chuyên môn trong suốt chương trình.
Nội dung đào tạo thực tiễn về công nghệ chân không tại Hyesungtech
Chương trình đào tạo tại Hyesungtech Hà Nội được thiết kế theo định hướng kết hợp chặt chẽ giữa lý thuyết và thực hành, giúp sinh viên USTH không chỉ nắm vững nguyên lý mà còn trực tiếp trải nghiệm các thiết bị công nghệ chân không hiện đại đang được ứng dụng trong công nghiệp.
1. Ứng dụng bơm chân không trong sản xuất chip bán dẫn
Mở đầu chương trình, các chuyên gia Hyesungtech đã giới thiệu tổng quan về vai trò của hệ thống chân không trong ngành công nghiệp bán dẫn. Một lĩnh vực công nghiệp đòi hỏi độ chính xác và độ sạch gần như tuyệt đối.
Trong phần đầu tiên này, sinh viên được tìm hiểu cách hệ thống chân không tạo ra môi trường kiểm soát tạp chất nghiêm ngặt trong quá trình chế tạo wafer, giúp hạn chế tối đa sự nhiễm bẩn ảnh hưởng đến cấu trúc vi mô của chip. Bên cạnh đó, các chuyên gia cũng phân tích rõ ứng dụng của bơm chân không trong các công đoạn quan trọng như lắng đọng màng mỏng (CVD, PVD) và khắc plasma (etching).
Sinh viên USTH còn được tiếp cận với sự khác biệt giữa các dòng bơm phổ biến như bơm chân không khô (dry pump) và bơm turbo phân tử, từ nguyên lý hoạt động đến phạm vi ứng dụng thực tế. Qua đó, chương trình giúp sinh viên hiểu rõ vai trò không thể thiếu của công nghệ chân không trong việc đảm bảo hiệu suất, độ chính xác và chất lượng của sản phẩm bán dẫn.
2. Giới thiệu nguyên lý và thực tế vận hành máy kiểm tra dò hở Heli
Tiếp theo, chương trình tập trung vào thiết bị máy dò rò rỉ Helium – một thiết bị quan trọng trong việc kiểm tra độ kín của các hệ thống chân không, đặc biệt trong những ngành yêu cầu độ chính xác và độ an toàn cao như bán dẫn, y tế và công nghệ cao.
Trong phần đào tạo này, sinh viên Trường Đại học Khoa học và Công nghệ Hà Nội được tìm hiểu nguyên lý sử dụng khí Helium làm khí truy vết nhờ đặc tính nhẹ, trơ và khả năng phát hiện với độ nhạy cực cao. Bên cạnh đó, các chuyên gia cũng giới thiệu các phương pháp kiểm tra rò rỉ phổ biến, bao gồm kiểm tra trong môi trường chân không và phương pháp dò tìm ngoài hiện trường, giúp sinh viên có cái nhìn toàn diện về các kỹ thuật kiểm tra trong thực tế. Ngoài ra, nội dung còn đi sâu vào cách đọc và phân tích tín hiệu rò rỉ để đánh giá mức độ kín của hệ thống.
Đặc biệt, sinh viên được trực tiếp quan sát và thao tác trên thiết bị thực tế, từ khâu thiết lập hệ thống, vận hành máy đến kiểm tra và đánh giá kết quả. Thông qua trải nghiệm này, sinh viên không chỉ nắm vững nguyên lý mà còn hình thành tư duy vận hành và kiểm soát chất lượng theo tiêu chuẩn công nghiệp.
3. Nguyên lý và thực hành tháo lắp bơm chân không Turbo
Ở phần cuối chương trình, sinh viên được tiếp cận với bơm turbo phân tử – thiết bị cốt lõi trong các hệ thống chân không cao và siêu cao, thường được ứng dụng trong các ngành công nghệ tiên tiến như bán dẫn và nghiên cứu khoa học.
Trong nội dung này, sinh viên được tìm hiểu nguyên lý hoạt động của bơm dựa trên chuyển động quay tốc độ cao của rotor nhằm dẫn hướng và gia tốc các phân tử khí theo một chiều nhất định để tạo môi trường chân không. Bên cạnh đó, các chuyên gia cũng giới thiệu chi tiết về cấu tạo và nguyên lý hoạt động của bơm. Ngoài ra, quy trình vận hành, bảo trì cũng như các lưu ý an toàn trong quá trình sử dụng thiết bị được trình bày một cách rõ ràng và thực tế.
Trải nghiệm thăm quan Hyesungtech Hà Nội, một cơ sở sửa chữa cung cấp bơm hút chân không hàng đầu Việt Nam
Bên cạnh nội dung đào tạo chuyên sâu, sinh viên USTH còn có cơ hội trực tiếp tham quan cơ sở Hyesungtech Hà Nội. Một trong những đơn vị hàng đầu tại Việt Nam trong lĩnh vực sửa chữa bơm, bảo trì và cung cấp các giải pháp bơm chân không cho các nhà máy công nghiệp.
Tại nhà xưởng, sinh viên được giới thiệu tổng quan về quy mô hoạt động, quy trình kỹ thuật cũng như hệ thống trang thiết bị hiện đại phục vụ cho việc kiểm tra, sửa chữa và tối ưu hiệu suất các dòng bơm chân không. Các khu vực chức năng như khu bảo trì, khu test bơm và khu lắp ráp được tổ chức chuyên nghiệp, phản ánh tiêu chuẩn kỹ thuật cao trong ngành.
Đặc biệt, sinh viên được quan sát trực tiếp quy trình sửa chữa và kiểm tra bơm chân không thực tế, từ khâu tiếp nhận thiết bị, đánh giá tình trạng, đến tháo lắp, thay thế linh kiện và chạy thử nghiệm. Qua đó, giúp sinh viên hiểu rõ hơn về vòng đời thiết bị cũng như tầm quan trọng của công tác bảo trì trong việc đảm bảo hiệu suất vận hành ổn định.
Chuyến tham quan không chỉ mang lại góc nhìn thực tế về môi trường làm việc trong ngành công nghệ chân không mà còn giúp sinh viên hình dung rõ hơn về cơ hội nghề nghiệp trong lĩnh vực kỹ thuật cao.
