VAN CHÂN KHÔNG VAT – Công nghệ van hút chân không tiên tiến, tiên phong
VAT là nhà phát triển và sản xuất hàng đầu thế giới về van chân không hiệu suất cao, thiết bị nhiều van, mô-đun chân không và ống thổi kim loại hàn cạnh.
Đối với van chân không hiệu suất cao, các thành phần quan trọng cho quá trình nghiên cứu và phát triển và sản xuất tiên tiến của chất bán dẫn, đèn LED, pin mặt trời, màn hình và các sản phẩm yêu cầu chân không cao khác. Thúc đẩy sự đổi mới trong công nghệ van chân không.
Bên dưới là phân loại của Van VAT và Ứng dụng của chúng trong từng lĩnh vực.
1. GATE VALVES, PENDULUM VALVES (VAN CỔNG, VAN CON LẮC)
| SỐ SERIES | MỨC CHÂN KHÔNG | ỨNG DỤNG CHÍNH |
| 01.0 | SIÊU CAO | Van đa năng để cách ly trong Chân không siêu cao hoặc các ứng dụng đòi hỏi khắt khe khác |
| 01.2 | CHÂN KHÔNG | Van đa năng để cách ly trong các ứng dụng chân không |
| 08.1 / 08.2 | CHÂN KHÔNG | Van đa năng để cách ly trong các ứng dụng chân không, nơi các hạn chế về không gian hoặc thiết kế ngăn cản việc sử dụng các mặt bích chân không tiêu chuẩn |
| 09.1 | CAO | Cho các ứng dụng đòi hỏi cách ly máy bơm. Đặc biệt phù hợp với các ứng dụng có hàm lượng phụ phẩm quá trình cao trong dòng khí |
| 10.8 | SIÊU CAO | Van tiêu chuẩn cho các ứng dụng cách ly Chân không siêu cao trong nghiên cứu và công nghiệp |
| 11.0 | CAO | Van đa năng để cách ly trong hệ thống chân không cao. Đặc biệt thích hợp để cách ly máy bơm |
| 12.1 | CHÂN KHÔNG | Van tiêu chuẩn cho các ứng dụng cách ly chân không trong nghiên cứu và công nghiệp |
| 14.0 | CAO | Van đa năng để cách ly trong các ứng dụng chân không cao hoặc thô. Đặc biệt phù hợp với các quy trình công nghiệp |
| 15.0 / 15.1 / 15.2 | CHÂN KHÔNG, CAO, SIÊU CAO | Van cách ly cho các hệ thống chân không cực nhạy và nhạy cảm với chấn động |
| 16.2 | CAO | Đối với các ứng dụng yêu cầu thiết kế nhỏ gọn. Đặc biệt phù hợp với các quy trình ăn mòn đòi hỏi khắt khe. |
| 16.8 | CAO | Đối với các ứng dụng yêu cầu thiết kế nhỏ gọn với kích thước DN lớn. Đặc biệt phù hợp với các hệ thống sản xuất sơn phủ và FPD lớn |
| 17.2 | CAO | Van cách ly cho các quá trình gây ô nhiễm |
| 19.0 / 19.1 / 19.2 | CHÂN KHÔNG, CAO, SIÊU CAO | Van cách ly dành cho nghiên cứu và các ứng dụng công nghiệp yêu cầu kích thước DN lớn. Đặc biệt phù hợp với các hệ thống mô phỏng không gian |
| 20.3 / 20.4 | CAO | Van cách ly nhỏ gọn cho các quá trình gây ô nhiễm và xâm thực. |
| 21.0 | CAO | Van cách ly nhỏ gọn cho chân không. Thay thế cho van cổng |
| 48.1 / 48.2 | CỰC KỲ CAO | Van cách ly cho các ứng dụng chân không trong môi trường Chân không siêu cao khắc nghiệt, nhiệt độ cao hoặc môi trường xâm thực |
| 92.0 | CAO, SIÊU CAO | Van cách ly buồng hoặc bơm cho bề mặt và các ứng dụng bán dẫn |
QUY ƯỚC:
MỨC CHÂN KHÔNG | GIÁ TRỊ |
| CHÂN KHÔNG | 1 mbar – 10-3 mbar |
| CAO | 10-3 mbar- 10-7 mbar |
| SIÊU CAO | 10-7 mbar- 10-11 mbar |
| CỰC KỲ CAO | <10-11 mbar |
2. CONTROL VALVES (VAN ĐIỀU KHIỂN)
| SỐ SERIES | MỨC CHÂN KHÔNG | ỨNG DỤNG CHÍNH |
| 61.2 | CAO | Van điều khiển áp suất hạ lưu cho SEMI, FPD, PV, SOLAR và các quy trình công nghiệp. Tối ưu cho các quy trình nhanh và đòi hỏi khắt khe, ví dụ như CVD |
| 61.5 | CAO | Van điều khiển và cách ly áp suất hạ lưu cho SEMI, FPD, PV, SOLAR và các quy trình công nghiệp. Tối ưu cho các quy trình nhanh và đòi hỏi khắt khe, ví dụ như CVD |
| 62.0 | CAO | Van cách ly và kiểm soát áp suất hạ lưu cho các quy trình có nhiệt độ cao và áp suất cao như LPCVD, ALD, v.v |
| 64.2 | CAO | Van điều khiển và cách ly cho SEMI, FPD và các quy trình công nghiệp. Tối ưu cho các quy trình phún xạ và ăn mòn |
| 64.8 | SIÊU CAO | Van điều khiển và cách ly cho SEMI, FPD và các quy trình công nghiệp. Tối ưu cho các quy trình phún xạ và ăn mòn |
| 65.0 / 65.1 / 65.2 / 65.5 | CAO | Van cách ly và điều khiển áp suất hạ lưu cho các quy trình SEMI và FPD. Tối ưu cho quá trình khắc và làm sạch ăn mòn |
| 67.0 | CAO | Van cách ly và điều khiển áp suất hạ lưu cho các quy trình SEMI và FPD. Lý tưởng cho các quy trình khắc đòi hỏi khắc khe |
3. TRANSFER VALVES & DOORS FOR SEMICONDUCTORS (VAN & CỬA CHUYỂN ĐỔI CHO BÁN DẪN)
| SỐ SERIES | MỨC CHÂN KHÔNG | ỨNG DỤNG CHÍNH |
| 02.1 / 03.1 | CAO, SIÊU CAO | Đối với khóa tải và cách ly buồng xử lý trong hệ thống sản xuất chất bán dẫn cho các tấm wafer 200 và 300 mm |
| 02.2 / 03.2 | CAO | Đối với khóa tải và cách ly buồng xử lý trong hệ thống sản xuất chất bán dẫn cho các tấm wafer 200 và 300 ; 450 mm |
| 04.1 / 05.1 | CAO | Để khóa tải và cách ly buồng xử lý trong hệ thống sản xuất chất bán dẫn. Đặc biệt thích hợp cho các quá trình ăn mòn như khắc hoặc CVD. |
| 04.2 / 05.2 | CAO | Để khóa tải và cách ly buồng xử lý trong hệ thống sản xuất chất bán dẫn. Đặc biệt thích hợp cho các quá trình ăn mòn như khắc hoặc CVD. |
| 04.3 / 05.3 | CAO | Để khóa tải và cách ly buồng xử lý trong hệ thống sản xuất chất bán dẫn. Đặc biệt thích hợp cho các quá trình ăn mòn như khắc hoặc CVD. |
| 07.5 | CAO | Để khóa tải và cách ly buồng xử lý ở phía khí quyển của hệ thống sản xuất chất bán dẫn. |
| 94.0 / 94.5 | CAO | Để chuyển giao và cách ly buồng xử lý trong các hệ thống sản xuất chất bán dẫn cho tấm wafer 200 và 300 mm. |
4. TRANSFER VALVES & DOORS FOR DISPLAY & SOLAR (VAN & CỬA CHUYỂN ĐỔI CHO MÀN HÌNH & PIN MẶT TRỜI)
| SỐ SERIES | MỨC CHÂN KHÔNG | ỨNG DỤNG CHÍNH |
| 02.4 | CHÂN KHÔNG | Đối với hệ thống sản xuất FPD đến thế hệ 6. Thích hợp sử dụng trong môi trường chân không cao, ví dụ trong hệ thống lắng đọng hơi cho vật liệu hữu cơ |
| 02.7 | CHÂN KHÔNG | Đối với hệ thống phủ web/màng mỏng |
| 06.0 / 06.2 | CHÂN KHÔNG | Đối với hệ thống sản xuất FPD |
| 06.1 | CHÂN KHÔNG | Đối với hệ thống sản xuất FPD |
| 06.6 | CHÂN KHÔNG | Đối với PV và các hệ thống phủ lớn. |
| 06.8 | CHÂN KHÔNG | Đối với PV và các hệ thống phủ lớn. |
| 07.5 / 07.8 | Đối với hệ thống sản xuất FPD và PV |
5. ANGLE VALVES, DIAPHRAGM VALVES (VAN GÓC, VAN TIẾT LƯU)
| SỐ SERIES | MỨC CHÂN KHÔNG | ỨNG DỤNG CHÍNH |
| 21.1 | CHÂN KHÔNG | Để đưa dòng khí có kiểm soát, có thể tái tạo vào buồng chân không |
| 21.2 | CAO | Bảo vệ Hệ thống và Người vận hành đối với quá áp hệ thống. |
| 21.3 | CAO | Đối với việc đóng hoặc mở hệ thống chân không có kiểm soát |
| 22.0 | CHÂN KHÔNG | Để cách ly dòng hỗ trợ/sơ bộ và đo thô khí và chất lỏng |
| 23.0 | CAO | Đối với các bình hút chân không được bơm hoặc cách ly khí không thường xuyên. |
| 24.4 / 24.5 | CHÂN KHÔNG | Để bơm và thông hơi các hệ thống chân không với lưu lượng khí lớn |
| 26.4 / 26.5 | CAO | Để bơm và thông hơi của hệ thống chân không cao |
| 28.4 | SIÊU CAO | Để bơm và thông hơi của hệ thống chân không siêu cao khi tỷ lệ thoát khí cực thấp là rất quan trọng |
| 29.0 / 29.2 | CHÂN KHÔNG, CAO | Để bơm và thông hơi của hệ thống chân không cao khi có ít tua bin, các hạt, chuyển động của chất nền và sự ngưng tụ là rất quan trọng. |
| 25.0 / 25.1 / 25.2 | CAO | Để bơm và thông hơi của hệ thống chân không cao khi độ dẫn tối đa là quan trọng. |
| 54.1 | CỰC KỲ CAO | Đối với các quy trình chân không với yêu cầu chân không siêu cao khắc nghiệt. |
| 57.0 / 57.1 | CỰC KỲ CAO | Đối với các quy trình chân không với yêu cầu chân không siêu cao khắc nghiệt và/hoặc các ứng dụng nhiệt độ thấp/cao |
| 59.0 | CỰC KỲ CAO | Van đầu vào gas cho dòng khí nhỏ nhất để kiểm soát áp suất quá trình. |
6. SPECIAL VALVES FOR ACCELERATORS & SYNCHROTRONS (VAN ĐẶC BIỆT DÀNH CHO MÁY GIA TỐC & SYNCHROTRONS)
| SỐ SERIES | MỨC CHÂN KHÔNG | ỨNG DỤNG CHÍNH |
| 47.1 / 47.2 | CỰC KỲ CAO | Van khu vực để lưu trữ các vòng trong máy gia tốc và synchrotrons. Van cách ly trong đường truyền sóng cực ngắn |
| 75.0 / 75.2 | CAO | Van để bảo quản chân không trong máy gia tốc và lưu trữ các vòng trong trường hợp không khí xâm nhập. |
| 77.1 / 77.3 | CAO | Cửa trập để bảo toàn chân không trong máy gia tốc và lưu trữ các vòng trong trường hợp không khí xâm nhập |
| 79.0 / 79.3 | CAO | Để sử dụng trong nhiều ứng dụng, ví dụ như thiết bị chặn photon |
7. SPECIAL VALVES FOR GASES (VAN ĐẶC BIỆT CHO KHÍ)
| SỐ SERIES | MỨC CHÂN KHÔNG | ỨNG DỤNG CHÍNH |
| 01.0 | SIÊU CAO | Để giảm áp suất của quá trình khí và để phân tích các khí dư ở áp suất cơ bản với van mở |
| 27.1 | CAO | Đối với các quy trình có khí xâm thực và ăn mòn |
| 62.7 | CAO | Van định lượng khí tốt cho các quy trình ngược dòng |
| 66.0 / 66.3 | CAO | Đối với các quá trình có khí xâm thực và ăn mòn. |
Trên đây là phân loại Van VAT và ứng dụng của chúng trong sản xuất. Ở bài viết tiếp theo, từng loại Van VAT sẽ được chúng tôi sẽ cung cấp và phân tích chi tiết nhất để hiểu hơn về các loại Van.
Liên hệ với chúng tôi để được tư vấn và hỗ trợ tốt nhất về các sản phẩm ; dịch vụ bơm chân không:
CÔNG TY CP HYESUNGTECH VIET NAM
VPGD: Số 3 Ngõ Viện Máy, tổ 21 Phường Mai Dịch, Quận Cầu Giấy, TP. Hà Nội
Miền Nam: 265 Tỉnh lộ 15, Ấp 1, xã Tân Thạnh Tây, Huyện Củ Chi, TP. HCM
Điện thoại: 033.202.6397 (Mr. Luân) (Zalo; viber; mobi)
Email: luante@hyesungtech.com.vn
Website: https://vacuumservices.com.vn/
